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Smart Monitoring adressiert die Entwicklung von Sensorelementen und Systemlösungen für das Zustandsmonitoring basierend auf Mikrosystemen und entsprechender Signalaufbereitung und Datenanalyse. Anwendungsfelder sind Spektrometer für das Umweltmonitoring und die Medizintechnik, Inertialsensoren für das Zustandsmonitoring im Maschinenbau sowie materialintegrierte Sensorik im Strukturleichtbau. Neben den Sensorelementen für die Gewinnung der Daten aus der Umwelt und der signalverarbeitenden Elektronik sind auch Technologien zur Realisierung autarker Sensorknoten von großer Bedeutung, um die Sensoren mit Energie zu versorgen und die Daten drahtlos zu übertragen.
Mikromechanische Aktuatoren werden vor allem in optischen Systemen und für die Verarbeitung von Hochfrequenzsignalen eingesetzt. Optische Systeme können sowohl für bildgebende Verfahren als auch für optische Spektrometer genutzt werden. In beiden Fällen wird das Licht durch bewegliche Mikrospiegel manipuliert. In der Hochfrequenztechnik kommen vor allem mikromechanische Schalter, Filter, Phasenschieber und Resonatoren zum Einsatz. Im Vergleich zu Festköperbauelementen zeigen die HF-MEMS oftmals eine deutlich bessere Performance. Wichtig ist jedoch eine detaillierte Betrachtung der HF-Bauelemente mittels Simulationen um die Leitbahnführung und das Design der Bauelemente für HF-Signale zu optimieren.
Neben der Entwicklung mikromechanischer Systeme sowie Engineering Runs kundenspezifischer Lösungen in unseren Technologien bieten wir auch halbleitertechnologische Einzelprozesse für 100 mm, 150 mm und 200 mm Siliziumwafer an. Von der Lithografie, über die Schichtabscheidung, Schichtstrukturierung, Rückdünnen und Planarisieren bis zum Wafer-Level-Packaging mittels unterschiedlicher Waferbondverfahren bieten wir das gesamte Spektrum der MEMS-Fertigung.
